Wysokopróżniowy piec rurowy CVD 1700C z systemem MFC

Środki ostrożności dotyczące stosowania:
Ciśnienie gazu w rurze pieca nie może być wyższe niż 0,02 MPa
·Ze względu na wysokie ciśnienie gazu wewnątrz butli gazowej, przy wprowadzaniu gazu do rury pieca na butli gazowej należy zamontować zawór redukcyjny. Ze względów bezpieczeństwa zaleca się stosowanie ciśnienia niższego niż 0,02 MPa. Zaleca się zakup reduktora ciśnienia naszej firmy. Zakres reduktora ciśnienia naszej firmy wynosi 0,01 MPa-0,1 MPa, co będzie dokładniejsze i bezpieczniejsze w użyciu. Gdy temperatura korpusu pieca jest wyższa niż 1000 stopni, rura pieca nie może znajdować się w stanie próżni, a ciśnienie gazu w rurze pieca musi być równoważne ciśnieniu atmosferycznemu.
·Natężenie przepływu gazu wchodzącego do rury pieca musi być mniejsze niż 200 SCCM, aby uniknąć wpływu przepływu zimnego powietrza na ogrzaną rurę kwarcową.
·Długoterminowa-temperatura użytkowania rurki kwarcowej wynosi<1100℃.
·W przypadku eksperymentu z nagrzewaniem próbki nie zaleca się zamykania zaworu wylotowego i zaworu wlotowego powietrza na kołnierzowym końcu rury pieca. Jeśli zajdzie potrzeba zamknięcia zaworu gazowego w celu podgrzania próbki, należy przez cały czas zwracać uwagę na manometr. Jeśli odczyt ciśnienia jest większy niż 0,02 MPa, należy natychmiast otworzyć zawór nadmiarowy powietrza, aby zapobiec wypadkom (takim jak pęknięcie rury pieca, wysunięcie się kołnierza itp.).